APPLICATION
膜厚量测
★椭偏仪专用光谱仪★
◆解决方案1. 双光谱仪系统：宽广全光谱(紫外至近红外光)解决方案
客户可选择两台光谱仪，量测波段分别为180-1100 nm和950-1700 nm，再搭配OtO客制化之双光谱仪系统，即可轻松拥有180-1700 nm的波段范围和高光学分辨率，突破单一光谱仪量测的限制，适合需紫外至近红外波段范围的量测应用，如：椭偏仪。
◆解决方案2. 消杂散光演算法
OtO开发的「消杂散光演算法」，适用于低穿透率、低反射率、高吸收度、量测光源偏弱、曝光时间极短的量测情境，经演算法校正后杂散光可降至0.01%。
消杂散光演算法对穿透率量测的贡献
◆解决方案1. 双光谱仪系统：宽广全光谱(紫外至近红外光)解决方案
客户可选择两台光谱仪，量测波段分别为180-1100 nm和950-1700 nm，再搭配OtO客制化之双光谱仪系统，即可轻松拥有180-1700 nm的波段范围和高光学分辨率，突破单一光谱仪量测的限制，适合需紫外至近红外波段范围的量测应用，如：椭偏仪。
◆解决方案2. 消杂散光演算法
OtO开发的「消杂散光演算法」，适用于低穿透率、低反射率、高吸收度、量测光源偏弱、曝光时间极短的量测情境，经演算法校正后杂散光可降至0.01%。
消杂散光演算法对穿透率量测的贡献
| 穿透率标准值 | 杂散光扣除前测量值 | 杂散光扣除后测量值 | |
| 杂散光 0.12% | 杂散光0.05% | 杂散光0.01% | |
| 90.00% | 90.01% | 90.00% | 90.00% |
| 10.00% | 10.11% | 10.04% | 10.01% |
| 1.00% | 1.12% | 1.05% | 1.01% |
| 0.10% | 0.22% | 0.15% | 0.11% |
推荐机种◆