PRODUCT
深紫系列 VioNeer Series
半导体制程监控、光刻胶特性检测、气体/水质污染物分析、生物分子吸收光谱等深紫外应用，155~410nm 低波段深紫外光谱仪。
●光谱响应范围155~410nm，为本公司首款可涵盖180nm以下之深紫外光谱仪。
●极低杂散光设计：零阶光与负一阶光分离处理，搭配遮光结构，大幅降低杂散光干扰。
●光学分辨率0.3~1.8nm；可选配超低噪声感测器。
●採用非等间距分光元件设计，可搭配SMA905光纤接口（含对位槽）与内建快门(Shutter)。
●机构设计具备可充填氮气之吹扫接口（Ø6进气口/Ø6出气口），量测时可通入氮气排除光路中的氧气，避免深紫外光被空气中氧气吸收，确保155~200nm短波段量测之讯号稳定性。
产品规格表
| 型号 | VN5190 | VN5194 |
|---|---|---|
| 波长范围 | 155-410nm | |
| NA | 0.11 | |
| 感测器 | 2048像素 背照式CCD | |
| 光栅 | 8xx grooves/mm，Blaze wavelength 200nm | |
| 分辨率 | 0.3-1.8nm（10-200μm狭缝可选） | |
| 光纤接口 | SMA905（可选自由入光口） | |
| 数据传输接口 | USB Type B、Ethernet（RJ45）、16 pin GPIO | |
| 快门 | 内建快门（Shutter） | |
| 体积 | 80(L) x 144(W) x 59.9(H) mm（不含主板、接头） | |
| 重量 | < 2kg | |
| 氮气吹扫接口 | Ø6出气口（可充填氮气，避免空气中氧气吸收） | |
| 讯杂比（SNR） | 450 | |
| 动态范围 | 5000 | |
| 暗噪声 | 约13 | |